精密形状創成用小径イオンビーム生成技術の開発(磁界型4極子レンズの構造検討)

精密形状創成用小径イオンビーム生成技術の開発(磁界型4極子レンズの構造検討)
复制标题

开发用于精密形状创建的小直径离子束发生技术(磁场型四极透镜的结构研究)

DOI:
--
复制
发表时间:
2019
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
瀧野日出雄,矢上裕晃,国部利寿
瀧野日出雄,矢上裕晃,国部利寿
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
Hideo TAKINO;Hiroki YAGAMI;and Toshijyu KUNIBE;瀧野日出雄;瀧野日出雄,矢上裕晃,国部利寿

文献摘要

相似文献