Nb薄膜へのAFMナノ電気リソグラフィー技術を用いたAPC作製

Nb薄膜へのAFMナノ電気リソグラフィー技術を用いたAPC作製
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使用 AFM 纳米电刻技术在 Nb 薄膜上制造 APC

DOI:
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发表时间:
2015
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
吉田隆
吉田隆
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
中村貞治;一野祐亮;吉田隆

文献摘要

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