Recativity of solid silicon with hydrogen under conditions of a low pressure plasma
Recativity of solid silicon with hydrogen under conditions of a low pressure plasma
复制标题
低压等离子体条件下固体硅与氢的反应性
DOI：
10.1016/0009-2614(79)80436-4
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发表时间：
1979
影响因子：
2.8
通讯作者：
S. Vepřek
中科院分区：
文献类型：
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作者：
A. Webb;S. Vepřek
