保坂 誠, 張 延平, 上野 洋, 井上泰伸, 杉山 進: "小型SRビームラインを用いたPMMAの高アスペクト比X線リソグラフィーの検討" 立命館大学理工学研究所紀要. No.55. 155-162 (1997)

保坂 誠, 張 延平, 上野 洋, 井上泰伸, 杉山 進: "小型SRビームラインを用いたPMMAの高アスペクト比X線リソグラフィーの検討" 立命館大学理工学研究所紀要. No.55. 155-162 (1997)
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Makoto Hosaka、Yanping Zhang、Hiroshi Ueno、Yasunobu Inoue、Susumu Sugiyama:“使用小型 SR 光束线的 PMMA 高深宽比 X 射线光刻研究”立命馆大学科学技术研究所通报第 55 期。155。 -162(1997)

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