藤本敏行: "TEOS/O_3-APCVD薄膜製造プロセスにおける蒸気とクラスター/微粒子の同時沈着の評価と制御"化学工学シンポジウムシリーズ. 67. 31-39 (1999)
藤本敏行: "TEOS/O_3-APCVD薄膜製造プロセスにおける蒸気とクラスター/微粒子の同時沈着の評価と制御"化学工学シンポジウムシリーズ. 67. 31-39 (1999)
复制标题
Toshiyuki Fujimoto:“TEOS/O_3-APCVD 薄膜制造过程中蒸气和团簇/颗粒共沉积的评估和控制”化学工程研讨会系列 67. 31-39 (1999)。
DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
中科院分区:
文献类型:
--
作者: