Wafer Sojourn Time Fluctuation Analysis of Time-Constrained Dual-Arm Cluster Tools With Wafer Revisiting and Activity Time Variation
Wafer Sojourn Time Fluctuation Analysis of Time-Constrained Dual-Arm Cluster Tools With Wafer Revisiting and Activity Time Variation
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具有晶圆回访和活动时间变化的时间约束双臂集群工具的晶圆停留时间波动分析
DOI：
10.1109/tsmc.2016.2600583
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发表时间：
2018-04
影响因子：
8.7
通讯作者：
Zhu QingHua
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Qiao Yan;Wu NaiQi;Yang FaJun;Zhou MengChu;Zhu QingHua
机器人组合工具涉及多个活动，这些活动的时间受到一定的干扰，从而导致活动的时间变化。其导致工艺模块中的晶片驻留时间波动，这又可能违反晶片驻留时间约束。一些晶圆制造需要重新访问过程。随着晶圆的重访，活性时间变化对晶圆停留时间波动的影响是如此复杂，以至于据作者所知，没有分析报告。因此，采用Petri网模型来描述集群工具的动态行为，对集群工具的动态行为进行准确的分析是非常重要的。利用该模型，提出了一种实时控制策略，以尽可能地抵消活动时间变化对晶圆停留时间波动的影响。然后，分析了晶圆停留时间延迟，并提出了精确计算其上界的算法。利用该方法，可以在有界活动时间变化的情况下检验给定的调度是否可行。最后给出了一些实例来说明该方法的应用。
A robotic cluster tool involves many activities whose time is subject to some disturbance, thus leading to the activity time variation. It results in wafer sojourn time fluctuation in a process module, which may in turn violate wafer residency time constraints. Some wafer fabrication requires a revisiting process. With wafer revisiting, the effect of activity time variation on wafer sojourn time fluctuation is so complicated that no analysis was reported to the best knowledge of the authors. It is vitally important to accurately analyze it. To do so, this paper adopts a Petri net model to describe the dynamical behavior of cluster tools. With this model, a real-time control policy is proposed to offset the effect of the activity time variation on wafer sojourn time fluctuation as much as possible. Then, the wafer sojourn time delay is analyzed and algorithms are developed to calculate its exact upper bound. With the proposed method, one can check if a given schedule is feasible under bounded activity time variation. Some practical examples are given to show the application of the proposed approach.
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DOI：
10.1007/978-1-4615-2231-7
发表时间：
1995-03
期刊：
--
影响因子：
--
作者：
Mengchu Zhou
通讯作者：
Mengchu Zhou
DOI：
10.1109/tsmca.2007.909542
发表时间：
2008
期刊：
IEEE Transactions on Systems, Man, and Cybernetics - Part A: Systems and Humans
影响因子：
--
作者：
N. Wu;Mengchu Zhou;Zhiwu Li
通讯作者：
N. Wu;Mengchu Zhou;Zhiwu Li
DOI：
10.1109/87.388133
发表时间：
1995
期刊：
IEEE Trans. Control. Syst. Technol.
影响因子：
--
作者：
Mengchu Zhou;Chi-Hsu Wang;Xiaoyong Zhao
通讯作者：
Mengchu Zhou;Chi-Hsu Wang;Xiaoyong Zhao
DOI：
10.1109/tase.2013.2293552
发表时间：
2015-04
影响因子：
5.6
作者：
Hyun-Jung Kim;Jun-Ho Lee;Tae-Eog Lee
通讯作者：
Hyun-Jung Kim;Jun-Ho Lee;Tae-Eog Lee
DOI：
10.1109/tase.2005.851236
发表时间：
2005-10
影响因子：
5.6
作者：
Tae-Eog Lee;Seong-Ho Park
通讯作者：
Tae-Eog Lee;Seong-Ho Park