Control of fluorine content for hardness increase of amorphous carbon film coated by pulsed-plasma ablation
Control of fluorine content for hardness increase of amorphous carbon film coated by pulsed-plasma ablation
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控制氟含量以提高脉冲等离子体烧蚀涂覆非晶碳膜的硬度
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
et.al.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Shingo KAWARA;Hiroyuki KOIZUMI;Hiroyuki KOUSAKA;et.al.
