Effective Decomposition of Water Vapor in Radio-Frequency Plasma with Carbon Deposition on Vessel Wall
Effective Decomposition of Water Vapor in Radio-Frequency Plasma with Carbon Deposition on Vessel Wall
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射频等离子体有效分解水蒸气并在容器壁上沉积碳
DOI：
10.1585/pfr.17.2405087
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发表时间：
2022
影响因子：
0.8
通讯作者：
K. Katayama
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Oya;R. Ikeda;K. Katayama
