3C-SiC/Si(001) 界面における積層欠陥の収差補正 TEM 解析
3C-SiC/Si(001) 界面における積層欠陥の収差補正 TEM 解析
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3C-SiC/Si(001) 界面堆垛层错的像差校正 TEM 分析
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
田中信夫
中科院分区：
文献类型：
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作者：
山崎順;稲元伸;野村優貴;石田篤志;秋山賢輔;平林康男;田中信夫
