H.Kim: "A novel etching method of single crystalline Al2O3 film on Si and sapphire using Si ion implantation" Proc.of Fall Meeting of MRS 95,Boston. A4.20. 55 (1995)
H.Kim: "A novel etching method of single crystalline Al2O3 film on Si and sapphire using Si ion implantation" Proc.of Fall Meeting of MRS 95,Boston. A4.20. 55 (1995)
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H.Kim：“使用硅离子注入在硅和蓝宝石上蚀刻单晶 Al2O3 薄膜的新颖方法”Proc.of Fall Meeting of MRS 95，波士顿。
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