AlGaAs-based optical device fabricated on Si substrate using microchannel epitaxy
AlGaAs-based optical device fabricated on Si substrate using microchannel epitaxy
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采用微通道外延技术在 Si 衬底上制备 AlGaAs 基光学器件
DOI:
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发表时间:
2010
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
T. Maruyama
中科院分区:
文献类型:
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作者:
D. Kanbayashi;Y. Ando;T. Kawakami;S. Naritsuka;T. Maruyama