Ultra-shallow Mg, Cr, Mn and B doping of GaAs surface using plasma stimulated room-temperature diffusion
Ultra-shallow Mg, Cr, Mn and B doping of GaAs surface using plasma stimulated room-temperature diffusion
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使用等离子体刺激室温扩散对 GaAs 表面进行超浅 Mg、Cr、Mn 和 B 掺杂
DOI：
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发表时间：
2020
影响因子：
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通讯作者：
G. G Qin
中科院分区：
文献类型：
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作者：
L. Li;R. Hou;L. Zhang;Y. Chen;L. Yao;N. Ma;Y. He;X. Chen;W. Xu;G. G Qin
