マイクロ/ナノバブルを利用したウエット研磨法によるダイヤモンド基板の平坦化
マイクロ/ナノバブルを利用したウエット研磨法によるダイヤモンド基板の平坦化
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利用微/纳米气泡湿法抛光方法平坦化金刚石基底
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
中神宏崇，松尾篤樹，久保田章亀
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Nakagami Hirotaka1;Akihisa Kubota;中神宏崇，松尾篤樹，久保田章亀
