r面 sapphire 基板上a面AIN HVPE成長におけるキャリアガスの影響

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载气对 R 面蓝宝石衬底上 A 面 AIN HVP​​E 生长的影响

DOI:
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发表时间:
2010
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
纐纈明伯
纐纈明伯
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
田島純平;越前史;富樫理恵;村上尚;高田和哉;熊谷義直;纐纈明伯

文献摘要

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