K Hane, T. Endo, M. Ishimori, Y. Ito, M. Sasaki: "Integration of grating-type encoder using Si micromachining"Sensors and Actuators A. 97-98. 136-146 (2002)
K Hane, T. Endo, M. Ishimori, Y. Ito, M. Sasaki: "Integration of grating-type encoder using Si micromachining"Sensors and Actuators A. 97-98. 136-146 (2002)
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K Hane、T. Endo、M. Ishimori、Y. Ito、M. Sasaki：“使用 Si 微加工集成光栅型编码器”传感器和执行器 A. 97-98。
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