真空科学ハンドブック
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真空科学手册
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
日本真空学会編
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Hiroki Taniyama;Eiji Iwase;日本真空学会編
