Study on AlN growth conditions for hydride vapor phase epitaxy

Study on AlN growth conditions for hydride vapor phase epitaxy
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氢化物气相外延AlN生长条件研究

DOI:
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发表时间:
2014
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
Kazumasa HIRAMATSU
Kazumasa HIRAMATSU
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Daiki YASUI;Hideto MIYAKE; Kazumasa HIRAMATSU

文献摘要

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