Deposition of fluorinated diamond like carbonfilms using pulsed plasma thruster
Deposition of fluorinated diamond like carbonfilms using pulsed plasma thruster
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使用脉冲等离子体推进器沉积氟化类金刚石碳膜
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
飯田将康
中科院分区：
文献类型：
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作者：
木村高志;飯田将康
