Formation of Crystalline Ge Islands on Glass Substrates for Growth of Large-Grained Polycrystalline Si Thin Films

Formation of Crystalline Ge Islands on Glass Substrates for Growth of Large-Grained Polycrystalline Si Thin Films
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在玻璃基板上形成结晶Ge岛以生长大晶粒多晶硅薄膜

DOI:
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发表时间:
2004
期刊:
Proceedings of Thin Film Materials & Devices Meeting
影响因子:
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通讯作者:
K.Minami
K.Minami
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
K.Yasutake;H.Watanabe;H.Ohmi;H.Kakiuchi;S.Koyama;D.Nakajima;K.Minami

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