小孔付き半密閉空間を有する光導波型微気圧センサのステップ応答特性
小孔付き半密閉空間を有する光導波型微気圧センサのステップ応答特性
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小孔半封闭空间光波导微压力传感器阶跃响应特性
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
大河正志
中科院分区：
文献类型：
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作者：
上島知也;鳥山大樹;大河正志
