大気圧プラズマ装置の電磁場シミュレーションとプラズマパラメータ解析―酸化プラズマパラメータと酸化膜特性の関係―
大気圧プラズマ装置の電磁場シミュレーションとプラズマパラメータ解析―酸化プラズマパラメータと酸化膜特性の関係―
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常压等离子体设备电磁场模拟及等离子体参数分析-氧化等离子体参数与氧化膜性能的关系-
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
田中恭輔，吉田和史，首藤光利，大参宏昌，垣内弘章，安武潔
中科院分区：
文献类型：
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作者：
新田健，吉田和史，首藤光利，大参宏昌，垣内弘章，安武潔;吉田和史，新田健，首藤光利，大参宏昌，垣内弘章，安武潔;吉田和史，新田健，首藤光利，大参宏昌，垣内弘章，安武潔;吉田和史，田中恭輔，首藤光利，大参宏昌，垣内弘章，安武潔;田中恭輔，吉田和史，首藤光利，大参宏昌，垣内弘章，安武潔;田中恭輔，吉田和史，首藤光利，大参宏昌，垣内弘章，安武潔
