Vacuum Ultraviolet (VUV) and Vapor-Combined Surface Modification for Hybrid Bonding of SiC, GaN, and Si Substrates at Low Temperature
Vacuum Ultraviolet (VUV) and Vapor-Combined Surface Modification for Hybrid Bonding of SiC, GaN, and Si Substrates at Low Temperature
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用于低温 SiC、GaN 和 Si 衬底混合键合的真空紫外线 (VUV) 和蒸汽组合表面改性
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and S. Shoji
中科院分区：
文献类型：
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作者：
A. Shigetou;J. Mizuno;and S. Shoji
