Nano-structural control of carbon-based thin films by PECVD and their surface modification
Nano-structural control of carbon-based thin films by PECVD and their surface modification
复制标题
PECVD碳基薄膜纳米结构控制及其表面改性
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Shinsuke Mori
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Nasrin HOSSEIN NEDJAD;Shinsuke MORI;Shinsuke Mori
