西村幹朗、真壁利明: Proceedings of the 6th Symposium on Plasma Processing. 1. 72-77 (1989)
西村幹朗、真壁利明: Proceedings of the 6th Symposium on Plasma Processing. 1. 72-77 (1989)
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Mikio Nishimura，Toshiaki Makabe：第六届等离子体处理研讨会论文集 1. 72-77 (1989)。
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