Soft-X-ray CCD imagers for AXAF
Soft-X-ray CCD imagers for AXAF
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用于 AXAF 的软 X 射线 CCD 成像仪
DOI：
10.1109/16.628815
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发表时间：
1997
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
D. Young
中科院分区：
文献类型：
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作者：
B. Burke;J. A. Gregory;M. Bautz;G. Prigozhin;S. Kissel;B. Kosicki;A. Loomis;D. Young
我们描述了 1024/spl 次/1026 像素帧传输成像仪的主要功能和性能数据，该成像仪用作 NASA X 射线天文台高级 X 射线天体物理设施 (AXAF) 上的软 X 射线探测器。该四端口器件具有浮动扩散输出电路，在 100kHz 数据速率下响应度为 20 /spl mu/V/e/sup -/ ，噪声约为 2 e/sup -/ 。描述了实现 5 fF 低感测节点电容的技术。 CCD 采用高电阻率 p 型硅制成，可实现深度耗尽，并包含窄电位槽，传输效率低至 10/sup -7/ 左右。为了在低于 1 keV 的能量下实现良好的灵敏度，我们开发了一种背照式工艺，其特点是背面复合损失低，并在 277 eV 下产生约 0.7 的量子效率（碳 K/spl α/）。
We describe the key features and performance data of a 1024/spl times/1026-pixel frame-transfer imager for use as a soft-X-ray detector on the NASA X-ray observatory Advanced X-ray Astrophysics Facility (AXAF). The four-port device features a floating-diffusion output circuit with a responsivity of 20 /spl mu/V/e/sup -/ and noise of about 2 e/sup -/ at a 100-kHz data rate. Techniques for achieving the low sense-node capacitance of 5 fF are described. The CCD is fabricated on high-resistivity p-type silicon for deep depletion and includes narrow potential troughs for transfer inefficiencies of around 10/sup -7/. To achieve good sensitivity at energies below 1 keV, we have developed a back-illumination process that features low recombination losses at the back surface and has produced quantum efficiencies of about 0.7 at 277 eV (carbon K/spl alpha/).