プラズマプロセスがGaAs 系半導体光学素子構造諸特性に与える影響
プラズマプロセスがGaAs 系半導体光学素子構造諸特性に与える影響
复制标题
等离子体工艺对GaAs基半导体光学元件结构特性的影响
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
渡辺章王，石川史太郎，近藤正彦
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
室谷英彰;赤瀬大貴;山田陽一;田口常正;松本隆文;中村大輔;岡田龍雄;渡辺章王，石川史太郎，近藤正彦
