Y.Yamamoto et.al: "Effects of dilution gases on Si atom and SiHx^+(x=0-3)ions in electron cyclotron resonance SiH4 plasma" Jpn. J. Appl. Phys.36・7B. 4664-4669 (1997)
Y.Yamamoto et.al: "Effects of dilution gases on Si atom and SiHx^+(x=0-3)ions in electron cyclotron resonance SiH4 plasma" Jpn. J. Appl. Phys.36・7B. 4664-4669 (1997)
复制标题
Y. Yamamoto 等人：“稀释气体对电子回旋共振 SiH4 等离子体中 Si 原子和 SiHx^+(x=0-3) 离子的影响”Jpn. J. Phys. 4664-4669 ( 1997）
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
