Impact of defect density in.Si bulk multicrystals on gettering effect of impurities
Impact of defect density in.Si bulk multicrystals on gettering effect of impurities
复制标题
硅块状多晶缺陷密度对杂质吸杂效果的影响
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and K. Nakaiima
中科院分区：
文献类型：
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作者：
I. Takahashi;N. Usami;R. Yokoyama;Y. Nose;K. Kutsukake;K. Fujiwara;and K. Nakaiima
