MERCURY DROPLET ACTUATION USING NEW DESIGN OF ELECTRODES FOR LONG WORKING RANGE

MERCURY DROPLET ACTUATION USING NEW DESIGN OF ELECTRODES FOR LONG WORKING RANGE
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采用新电极设计的汞滴驱动,工作范围长

DOI:
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发表时间:
2008
期刊:
Proceedings of PowerMEMS 2008 + μEMS 2008
影响因子:
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通讯作者:
S. Tanaka
S. Tanaka
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
T. Tsukamoto;M. Esashi;S. Tanaka

文献摘要

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