ELEMENTAL GRADIENT FUNCTIONAL THIN FILM PREPARATION BY SPUTTERING WITH MIXED POWDER TARGETS

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通过混合粉末靶材溅射制备元素梯度功能薄膜

DOI:
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发表时间:
2021
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
Hiroharu Kawasaki
Hiroharu Kawasaki
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
大前暁政;Hiroharu Kawasaki

文献摘要

参考文献

被引文献

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DOI: --
发表时间: 1968
期刊:
影响因子: --
作者:
G. Carter;J. Colligon
通讯作者: J. Colligon