Granular-composite-like electrical transport properties of polycrystalline cubic TaNx thin films prepared by rf sputtering method
Granular-composite-like electrical transport properties of polycrystalline cubic TaNx thin films prepared by rf sputtering method
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射频溅射法制备多晶立方TaNx薄膜的类颗粒复合电输运特性
DOI：
10.1016/j.ssc.2018.05.010
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发表时间：
2018
影响因子：
2.1
通讯作者：
Li Zhi-Qing
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Li Ran;Duan Xiu-Zhi;Zhu Xin;Yang Yang;Zhou Ding-Bang;Li Zhi-Qing
