Condensation Behavior of nanoscale bubbles on ArF excimer resist surface analyzed by atomic force microscope
Condensation Behavior of nanoscale bubbles on ArF excimer resist surface analyzed by atomic force microscope
复制标题
原子力显微镜分析ArF准分子光刻胶表面纳米级气泡的凝聚行为
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Akira Kawai
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Akira Kawai;Kenta Suzuki;Akira Kawai
