Single lon Implantation for Single-Dopant Controlled Devices
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复制标题
单掺杂剂控制器件的单离子注入
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
I. 0hdomari
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Shinada;M. Hori;K. Taira;I. 0hdomari
