Air Damping in a Fan-Shaped Rotational Resonator with Comb Electrodes

Air Damping in a Fan-Shaped Rotational Resonator with Comb Electrodes
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带梳状电极的扇形旋转谐振器中的空气阻尼

DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
IEEJ Transaction on Sensors and Micromachines 128-E
影响因子：
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通讯作者：
Y. Uchida
Y. Uchida
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
Y. Takahashi;H. Iemura;S. A. Mahin;G. L. Fenves;Y. Uchida

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