BrCNの放電分解によるa-CNx薄膜の形成
BrCNの放電分解によるa-CNx薄膜の形成
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BrCN放电分解形成a-CNx薄膜
DOI:
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发表时间:
2011
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
津田哲平,赤坂大樹,斎藤 秀俊,伊藤治彦
中科院分区:
文献类型:
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作者:
岡田亘太郎;津田哲平,赤坂大樹,斎藤 秀俊,伊藤治彦