新規凹凸転写技術における転写精度に及ぼす軟質工具および被加工材の形状の影響

新規凹凸転写技術における転写精度に及ぼす軟質工具および被加工材の形状の影響
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新型不均匀传送技术中软刀具和工件形状对传送精度的影响

DOI:
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发表时间:
2020
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
西山拓実,吉川泰晴
西山拓実,吉川泰晴
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Yasuharu Yoshikawa;Yusuke Masegi;西山拓実,吉川泰晴

文献摘要

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