H. Fujita: "Microactuators for the Vacuum Environment (in Japanese)" Vacuum. volume 35, No. 7. 631-636 (1992)
H. Fujita: "Microactuators for the Vacuum Environment (in Japanese)" Vacuum. volume 35, No. 7. 631-636 (1992)
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H. Fujita：“用于真空环境的微执行器（日语）” 真空。
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