K.Sawano, N.Usami et al.: "Planarization of SiGe virtual substrates by CMP and its application to strained Si modulation-doped structures"J.Cryst.Growth. (発表予定).
K.Sawano, N.Usami et al.: "Planarization of SiGe virtual substrates by CMP and its application to strained Si modulation-doped structures"J.Cryst.Growth. (発表予定).
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K.Sawano、N.Usami 等人：“通过 CMP 实现 SiGe 虚拟衬底的平面化及其在应变 Si 调制掺杂结构中的应用”J.Cryst.Growth。
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