Interaction of Hydrogen Plasma with Hydrocarbon Species

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氢等离子体与碳氢化合物的相互作用

DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
Proceedings of the 17^<th> symposium of the Materials Research Society of Japan
影响因子：
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通讯作者：
H.Shibata
H.Shibata
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
六田朋美;近藤龍二;荒川純一;濱田俊之;迫田達也;Toshiyuki Hamada;Toshiyuki Hamada;荒川純一;六田朋美;迫田達也;六田朋美;Masanori Shinohara;Masanori Shinohara;Masanori Shinohara;Masanori Shinohara;Masanori Shinohara;Masanori Shinohara;H.Shibata

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