Microfabrication of ionic polymer actuators by selective plasma irradiation
Microfabrication of ionic polymer actuators by selective plasma irradiation
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通过选择性等离子体辐照微加工离子聚合物致动器
DOI：
10.1002/tee.22009
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发表时间：
2014
影响因子：
1
通讯作者：
K. Asaka
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
K. Kikuchi;T. Taniguchi;H. Miki;S. Tsuchitani;K. Asaka
提出了一种将选择性等离子体辐照与化学镀相结合的制备微型化镀金电极离子聚合物-金属复合材料的新方法。在电镀之前，通过模板掩模用SF6或CF 4等离子体照射膜，以防止金电极沉积在等离子体照射区域。小型化IPMC采用400 µm宽的线和空间图案制造。所提出的方法有可能实现与微机电系统（MEMS）器件相结合的小型化IPMC，因为这提供了一个直接和简单的制造工艺。© 2014日本电气工程师协会。出版社：John Wiley & Sons，Inc.
A novel method for fabricating a miniaturized ionic polymer–metal composite (IPMC) with plated gold electrodes is developed by combining selective plasma irradiation and electroless plating. The membrane is irradiated by SF6 or CF4 plasmas through a stencil mask prior to plating to prevent deposition of a gold electrode in the plasma‐irradiated area. Miniaturized IPMCs are fabricated with a 400‐µm‐wide line‐and‐space pattern. The proposed method has the potential to realize miniaturized IPMCs combined with microelectromechanical system (MEMS) devices because this provides a direct and simple fabrication process. © 2014 Institute of Electrical Engineers of Japan. Published by John Wiley & Sons, Inc.
离子聚合物金属复合材料图案化电极形成方法的研究进展
DOI：
--
发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
--
作者：
K. Kikuchi;M. Miwa and S. Tsuchitani
通讯作者：
M. Miwa and S. Tsuchitani