Deprotonation mechanism of poly(styrene-acrylate)-based chemically amplified resist
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聚(苯乙烯-丙烯酸酯)基化学放大型抗蚀剂的去质子化机理
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Yasuharu Tajima
中科院分区：
文献类型：
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作者：
N.Miyato;Yasuharu Tajima
