T.Yamaguchi,S.Tonooka, A.H.Jayatissa, M.Aoyama, M.Tabe, Y.Kanda: "Spectroellipsometric characterization of SIMOX with a very thin Si layer" Intern. Symp. on Palarization analysis and applications to device technology (Yokohama, 1996.6.14) SPIE. (Accepted
T.Yamaguchi,S.Tonooka, A.H.Jayatissa, M.Aoyama, M.Tabe, Y.Kanda: "Spectroellipsometric characterization of SIMOX with a very thin Si layer" Intern. Symp. on Palarization analysis and applications to device technology (Yokohama, 1996.6.14) SPIE. (Accepted
复制标题
T.Yamaguchi、S.Tonooka、A.H.Jayatissa、M.Aoyama、M.Tabe、Y.Kanda：“具有非常薄的 Si 层的 SIMOX 的光谱椭偏表征”实习生。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
