圧電型超音波マイクロセンサのダイアフラム構造制御による感度変化
圧電型超音波マイクロセンサのダイアフラム構造制御による感度変化
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压电超声微传感器膜片结构控制引起的灵敏度变化
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
梅川淳
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H.Shimizu;Y.Nakano;Y.Takahashi;Y.Takahashi;澤口 直樹;M.Yokoyama;Y.Takahashi;T.Matsuda;D.Miura;安部 悟志;三浦 弘;梅川淳
