N. Koshida: "Focused ion beam lithography with transition metal oxide resists." Jpn. J. Appl. Phys.28. 2090-2094 (1989)
N. Koshida: "Focused ion beam lithography with transition metal oxide resists." Jpn. J. Appl. Phys.28. 2090-2094 (1989)
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N. Koshida：“使用过渡金属氧化物抗蚀剂的聚焦离子束光刻。”
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