大気パルス放電を用いたITO透明導電性基板からの金属除去の進展
大気パルス放電を用いたITO透明導電性基板からの金属除去の進展
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利用大气脉冲放电去除ITO透明导电基板金属的研究进展
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
山下 智彦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
三野 太洋 ;菊池 凱登 ;土居 拓永 ;正箱 信一郎 ;山下 智彦
