K.Sasaki: "Time-of-flight mass spectrometry of positive ions in helicon-wave excited high-density CF_4 and C_4F_8 plasmas" Jpn.J.Appl.Phys.36・3A(掲載予定). (1997)
K.Sasaki: "Time-of-flight mass spectrometry of positive ions in helicon-wave excited high-density CF_4 and C_4F_8 plasmas" Jpn.J.Appl.Phys.36・3A(掲載予定). (1997)
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K.Sasaki:“螺旋波激发高密度CF_4和C_4F_8等离子体中正离子的飞行时间质谱”Jpn.J.Appl.Phys.36·3A(待出版)(1997年)。
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