FMを用いた強誘電体薄膜の面内および鉛直方向の圧電性評価

FMを用いた強誘電体薄膜の面内および鉛直方向の圧電性評価
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使用 FM 评估铁电薄膜的面内和垂直压电性

DOI:
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发表时间:
2013
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
瀬戸 翔太
瀬戸 翔太
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
N. Itagaki;K. Kuwahara;K. Matsushima;K. Oshikawa;H. Matsui;瀬戸 翔太

文献摘要

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