Y.Hikosaka, H.Toyoda and H.Sugai :"Drastic Change in CF_2 and CF_3 Kinetics Induced by Hydrogen Addtion into a CF_4 Etching Plasma" Jpn.J.Appl.PhyS.32. L690-L693 (1993)
Y.Hikosaka, H.Toyoda and H.Sugai :"Drastic Change in CF_2 and CF_3 Kinetics Induced by Hydrogen Addtion into a CF_4 Etching Plasma" Jpn.J.Appl.PhyS.32. L690-L693 (1993)
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Y.Hikosaka、H.Toyoda 和 H.Sugai：“CF_4 蚀刻等离子体中加氢引起的 CF_2 和 CF_3 动力学的巨大变化”Jpn.J.Appl.PhyS.32。
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