MEMSデバイス向け厚膜PZT/PZTバイモルフ構造
MEMSデバイス向け厚膜PZT/PZTバイモルフ構造
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用于 MEMS 器件的厚膜 PZT/PZT 双压电晶片结构
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
神田健介
中科院分区：
文献类型：
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作者：
神田健介
