微細Cu 配線における粒界偏析元素の直接観察と第一原理計算
微細Cu 配線における粒界偏析元素の直接観察と第一原理計算
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细小铜互连中晶界偏析元素的直接观察和第一性原理计算
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
圓谷哲紀,江口大貴,篠嶋妥
中科院分区：
文献类型：
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作者：
永野隆敏;圓谷哲紀,江口大貴,篠嶋妥
